晶瑞电材：已启动ArF（193）高端光刻胶研发，KrF光刻胶完成中试
2021-12-31 08:19
12月15日，晶瑞电材在特定对象调研活动中表示，目前ArF(193)高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。
公司高端KrF(248)光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。
据晶瑞电材表示，此前，公司已经购得用于负胶、g 线、i线、ArF 等 4 台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，公司已经到位5台光刻机。
来源：晶瑞电材官网
此外据晶瑞电材透露，晶瑞(湖北)微电子材料项目一期目前正在设备安装调试阶段。
据悉，2019年11月，晶瑞电材(原晶瑞股份)发布公告称，拟在湖北省潜江市投资建设晶瑞(湖北)微电子材料项目，生产光刻胶及其相关配套的功能性材料、电子级双氧水、电子级氨水等半导体及面板显示用电子材料等，项目计划总投资约为人民币15.2亿元。
晶瑞电材在该调研活动中还表示，受益于我国半导体材料行业国产替代进程提速，下游芯片厂商需求增长，当前公司主导产品半导体级光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料等产销两旺。
未来随着公司 KrF 光刻胶测试完成并逐步量产、ArF 光刻胶研发成功并最终量产，以及公司南通、陕西、四川等基地新增的高纯硫酸、NMP、光刻胶等产品产能的逐步释放，有望成为公司新的利润增长点。
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