上海新阳：与Heraeus签订《合作备忘录》，推进半导体光刻胶发展
2021-12-31 07:49
近日，上海新阳半导体材料股份有限公司发布了关于签订《合作备忘录》的公告，公告显示上海新阳与 HeraeusDeutschland GmbH & Co. KG(以下简称“Heraeus”)签署的《合作备忘录》系双方就建立合作关系而签署的框架协议，为解决中国半导体供应链面临的新挑战，推进半导体光刻胶的发展，双方将深度合作，共同努力优化创新的光刻胶解决方案。
图片来源：上海新阳
公告称上海新阳作为国内集成电路制造关键工艺材料供应商，自立项进行光刻胶项目研发以来，将突破集成电路高端光刻胶国外垄断，实现集成电路高端光刻胶材料的国产化作为发展目标，在ArF干法、KrF厚膜及I线光刻胶方面已有技术与产品的突破，部分产品已经拿到订单。
上海新阳表示，公司与Heraeus签署本协议，旨在完善光刻胶供应链，为光刻胶项目的开展提供材料和技术保障，对加快公司集成电路制造用光刻胶产品研发项目进度有积极影响，有利于加速落实公司发展战略，提高公司可持续发展能力。
据上海新阳2021年第三季度报告显示，今年前三季度公司实现营业收入实现营业收入71,195.83万元，较上年同比增长46.31%;实现归属于上市公司股东的净利润8492.42万元，较上年同比下降51.99%。
在先前的三季度业绩预告中，上海新阳表示：
年初至报告期末，公司营业收入继续保持大幅增长，半导体和涂料业务销售收入均实现了50%左右的增长;
由于公司开展光刻胶项目和参与国家重大科技项目，研发投入持续加大，研发费用增加明显。
今年6月末，上海新阳发布公告称，公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证，并成功取得第一笔订单。公告称，上海新阳开发的365nm I线、248nm KrF、193nm ArF干法及湿法光刻胶可适应国内0.35-0.11微米、90-28nm芯片工艺技术节点的需求。
11月30日，上海新阳在投资者互动平台表示，目前KrF光刻胶有持续订单，ArF光刻胶尚在认证当中。
来源：势银膜链
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